A Study of Statistical Characterization of Strength and Fatigue Lifetime for Silicon and Polysilicon Structures in MEMS
Phụ đề
Doctoral thesis
Tác giả
Vu Le Huy
Khu vực
Nagoya
Nơi xuất bản
Nagoya Institute of Technology ; Date for presentation: 7/2/2013
Năm xuất bản
2013
Ngôn ngữ
Tiếng Việt
Từ khóa
Độ bền, Cơ khí
Tóm tắt
Nghiên cứu mô tả, dự đoán độ bền , tuổi thọ mỏi của các cấu trúc làm bằng vật liệu silicon và polysilicon dùng trong các hệ thống vi cơ điện tử (MEMS). Cấu trúc silicon với hình dạng bất kỳ đã được dự đoán về độ bền dựa trên kết quả thí nghiệm từ những hì
Bánh xe lăn, phím mũi tên, PgUp, PgDn, Home, End để di chuyển trang. Phím +, ‒ trên bàn phím số để phóng to/thu nhỏ trang.