Theoretical studies of chemical reactions of cyclopentasilane in the liquid phase
Phụ đề
Thesis
Tác giả
Pham Tien Lam
Khu vực
Ishikawa
Nơi xuất bản
Japan advanced Institute of Science and Technology ; Defence: 19/8/2011
Năm xuất bản
2011
Số trang
X, 113p.
Ngôn ngữ
Tiếng Anh
Từ khóa
Phản ứng hoá học
Tóm tắt
Nghiên cứu lý thuyết phản ứng hoá học của cyclopentasilane trong dung dịch được ứng dụng trong công nghệ chế tạo linh kiện điện tử bằng phương pháp phun silicon lỏng từ cyclopentasilane
Bánh xe lăn, phím mũi tên, PgUp, PgDn, Home, End để di chuyển trang. Phím +, ‒ trên bàn phím số để phóng to/thu nhỏ trang.