Nghiên cứu khuyếch tán đồng thời tạp chất và sai hỏng điểm trong silic

LATS Vật lí: 62.44.07.01

Vũ Bá Dũng

Hà Nội

Đại học Khoa học Tự nhiên ; Ngày bảo vệ: 19/9/2011

2011

Tiếng Việt

Vật lí chất rắn, Khuyếch tán, Tạp chất

Nghiên cứu tính tương thích và đồng nhất giữa định luật Fick và Onsager; nghiên cứu bài toán khuyếch tán đồng thời tạp chất B và sai hỏng điểm trong Si. Tìm phân bố của tạp chất B và sai hỏng điểm theo chiều sâu và theo thời gian trong Si. Ứng dụng để lí