Cảm biến khí dạng màng trên cơ sở vật liệu ôxít bán dẫn cấu trúc nano

LATS Kỹ thuật: 62.52.92.01

Đặng Thị Thanh Lê

Hà Nội

Đại học Bách khoa Hà Nội

2011

XII, 151tr.

Tiếng Việt

Cảm biến, Vật liệu điện tử

Mô tả quá trình thực nghiệm và phương pháp sử dụng để tổng hợp hạt nano TiO2 không pha tạp và pha tạp Cu, Ni, Pt với các nồng độ khác nhau. Tìm kiếm và xây dựng quy trình chế tạo linh kiện cảm biến khí trên hai loại mặt nạ phim âm bản và mặt nạ kim loại s