Nghiên cứu nâng cao chất lượng màng mỏng quang học bằng phương pháp bốc hơi có trợ giúp của chùm ion

LATS Kỹ thuật: 62.52.04.01

Phạm Hồng Tuấn

Hà Nội

Đại học Bách khoa ; Ngày bảo vệ: 22/9/2007

2007

Tiếng Việt

Chế tạo, Công nghệ, Bay hơi, Ion

Chất lượng màng mỏng quang học và phương pháp bay hơi có trợ giúp của chùm ion. Xây dựng thiết bị nghiên cứu phương pháp IAD. Nghiên cứu chế tạo màng mỏng TiO2 và SiO2 bằng công nghệ IAD