Trang chủ
Tìm kiếm
Trợ giúp
LUẬN ÁN TIẾN SĨ - Cơ sở dữ liệu toàn văn
> Robust and adaptive control in high precision positioning system for semiconductor device stage 2007
Robust and adaptive control in high precision positioning system for semiconductor device stage, 2007
Luận án
Thông tin
Nội dung
Mã kho
LA07.0384.3
Tên luận án
Robust and adaptive control in high precision positioning system for semiconductor device stage
Phụ đề
Thesis
Tác giả
Truong Ngoc Minh
Khu vực
Nagaoka
Nơi xuất bản
Nagaoka universiteit of Technology ; Defence: 17/7/2007
Năm xuất bản
2007
Số trang
102p.
Ngôn ngữ
Tiếng Anh
Từ khóa
Hệ thống điều khiển, Chế tạo, Bán dẫn, Sản xuất
Tóm tắt
Nghiên cứu hệ thống điều khiển vị trí chính xác cao ứng dụng trong lĩnh vực sản xuất bán dẫn dưới tác động ảnh hưởng của ma sát và tham số thay đổi
Bánh xe lăn, phím mũi tên, PgUp, PgDn, Home, End
để di chuyển trang.
Phím +, ‒ trên bàn phím số
để phóng to/thu nhỏ trang.
x