Nghiên cứu Sensor nhạy khí trên cơ sở tiếp xúc Pt/n-Si, Pd/n-Si và Au/n-Si bằng các phương pháp khác nhau

LATS Vật lý

Đặng Xuân Vinh

Hà Nội

Viện Khoa học Vật liệu

2001

Tiếng Việt

Thiết bị đo lường, Chất bán dẫn, Vật lí

Tổng quan và cơ sở lý thuyết về tiếp xúc kim loại bán dẫn. Phát triển phương pháp I-V và C-V để nghiên cứu các tiếp xúc kim loại -bán dẫn. Xây dựng các hệ đo tự động đặc trưng điện và công nghệ xử lý, chế tạo mẫu. Sensor nhạy khí hiđrô trên cơ sơ tiếp xúc